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녹색에너지연구원 장비현황 및
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DC & RF 스퍼터 장비 정보 안내
DC & RF 스퍼터 1번째 이미지
장비명 DC & RF 스퍼터
제작사명/모델 유시스텍/모델명 없음
장비도입금액 144,396,800원
사용료 300,000원/샘플당
장비사용 예약 및
기타문의
기술사업실 장우석 연구원 T. 061-288-1054, email : cws@gei.re.kr
취득일자 2011-03-25
장비특징 및 사양 박막태양전지 요소기술의 하나인 투명전도성 산화막 등의 미래 사업아이템 연구개발.

결정질 실리콘, 박막태양전지 뿐만 아니라 염료감응형 태양전지의 TCO개발에 사용.

동시 사용이 가능한 RF 1kW 및 DC 3kW 하이파워건이 4기 장착되어 있으며 4인치 기판에 균일도 +-5%이하의 박막 증착이 가능
증착가능 물질 : ITO, ZnO, BZO, xZO, Cu, Al 등
- Sputtering Chamber
· Substrate : 4
· Type : Co-Sputtering System
· Source : 4inch Magnetron Sputter Gun 4set(RF/DC)
· Power supply : DC Power 3KW 2set
· RF Power 1KW 2set
· Chuck : Heating and Rotation and Up/Down
· Vacuum : 5 ×10-7 torr by Dry and Cryo pump
- Thickness uniformity : ≤ ±3% (@ Cu 3000Å) ,≤ ±5% (@ ITO 1500Å)
설치장소 소자제작실
  • 담당부서 : 그린에너지연구개발실
  • 담당자 : 장우석
  • 연락처 : 061-288-1012

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