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웨이퍼 세정 및 표면조직화 장비 장비 정보 안내
웨이퍼 세정 및 표면조직화 장비 1번째 이미지
장비명 웨이퍼 세정 및 표면조직화 장비
제작사명/모델 울텍/모델명 없음
장비도입금액 552,025,550원
사용료 420,000원/시간당
장비사용 예약 및
기타문의
기술사업실 장우석 연구원 T. 061-288-1054, email : cws@gei.re.kr
취득일자 2011-12-31
장비특징 및 사양 웨이퍼 표면을 Texture함으로써 표면적을 넓혀 빛의 흡수를 늘림.
반사도를 줄여 태양전지 효율 향상.
R&D분야와 준양산이 가능한 SOLTEX 장비

기판사이즈:6인치(156mm*156mm) 웨이퍼
카셋트 : 최대 웨이퍼 100장 적재
카셋트 이송 : 로봇
시스템 작동 : 자동 공정, 컴퓨터 제어 가능
설치장소 시험제작동 내 크린룸
  • 담당부서 : 그린에너지연구개발실
  • 담당자 : 장우석
  • 연락처 : 061-288-1012

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