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확산 장비 장비 정보 안내
확산 장비 1번째 이미지
장비명 확산 장비
제작사명/모델 울텍/모델명 없음
장비도입금액 230,825,550원
사용료 360,000원/시간당
장비사용 예약 및
기타문의
기술사업실 장우석 연구원 T. 061-288-1054, email : cws@gei.re.kr
취득일자 2011-12-31
장비특징 및 사양 p형 기판에 인(Phosphorus)을 주입하여 P-N접합 형성
R&D 분야와 준양산이 가능한 SOLDOP 장비
프레임구조 : 한개의 튜브타입
기판 사이즈 : 6인치 (156mm * 156mm) 웨이퍼
공정 튜브 : 석영 튜브
전기로 히터 : 최대, 1,200℃, 6-zone 온도 컨트롤
공정 가스 : 질소, 산소 가스 공정용
소스 : 500cc포클 가스 공급
시스템 작동 : 자동공정, 컴퓨터 제어 가능
설치장소 시험제작동 내 크린룸
  • 담당부서 : 그린에너지연구개발실
  • 담당자 : 장우석
  • 연락처 : 061-288-1012

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