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플라즈마 외각 측면 분리 장비 장비 정보 안내
플라즈마 외각 측면 분리 장비 1번째 이미지
장비명 플라즈마 외각 측면 분리 장비
제작사명/모델 울텍/모델명 없음
장비도입금액 90,025,550원
사용료 300,000원/시간당
장비사용 예약 및
기타문의
기술사업실 장우석 연구원 T. 061-288-1054, email : cws@gei.re.kr
취득일자 2011-12-31
장비특징 및 사양 확산 공정을 통해 웨이퍼 표면이 N층으로 연결되어 있어 분리시키는 공정
R&D분야와 준양산이 가능한 PLASMA ETCHER 장비

웨이퍼 적재량 : 6인치 웨이퍼 (156mm * 156mm) 300장
챔버 재질 : 스테인레스 스틸
플라즈마 소스 파워 : 600W, 13.56MHz(RF)
진공펌프:33m3/hr, 오일타입
공정가스 : 산소, 사불화탄소 가스 사용, 질소 가스 퍼지용
시스템 작동 : 자동공정, 컴퓨터 제어 가능
설치장소 시험제작동 내 크린룸
  • 담당부서 : 그린에너지연구개발실
  • 담당자 : 장우석
  • 연락처 : 061-288-1012

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