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반사방지막 코팅 장비 장비 정보 안내
반사방지막 코팅 장비 1번째 이미지
장비명 반사방지막 코팅 장비
제작사명/모델 울텍/모델명 없음
장비도입금액 769,825,550원
사용료 480,000원/시간당
장비사용 예약 및
기타문의
기술사업실 장우석 연구원 T. 061-288-1054, email : cws@gei.re.kr
취득일자 2011-12-31
장비특징 및 사양 태양전지의 반사도를 낮추기 위해 웨이퍼 표면에 얇은 막을 형성하는 공정
R&D분야와 준양산이 가능한 SOLARC 장비

공정순서 : 로딩테이블 - 로딩챔버 - 공정챔버 - 언로딩 챔버 - 언로딩 테이블
트레이 용량 : 6인치 웨이퍼 (156mm x 156mm )9장
로딩 챔버 : 적외선 램프의 히터 타입 내장, 350℃
공정 챔버 : PE type 샤워헤드 내장, 기판 히터 내장, 최대. 400℃
언로딩 챔버 : 냉각 유닛 내장
공정 유닛 : 모터 구동
플라즈마 소스파워 : 3kW, 13.56MHz(RF)
공정용 가스 : 압축모노실란, 암모니아 공정용 가스, 퍼지용 가스
시스템 작동 자동 공정, 컴퓨터 제어 가능
설치장소 시험제작동 내 크린룸
  • 담당부서 : 그린에너지연구개발실
  • 담당자 : 장우석
  • 연락처 : 061-288-1012

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